探针台（配积分球）

型号：PEH-6/蓝菲积分球（150mm直径）

（1）    分辨率：1µm

（2）    立体显微镜：

目镜：30X

变焦：0.8X~5X

总放大倍数：24X~150X

焦距：50mm

（3）    磁力座

（4）    三铜轴线探针夹

（5）    屏蔽箱

（6）    模拟色彩CCD 220V

（7）    410,000像素

（8）    加热转盘：HT-200

（9）    真空转盘：6" DIA

（10）温度范围：0ﾟC~200ﾟC

（11）PID控制器：4位数 LED 输出

（12）温度分辨率：0.1ﾟC