等离子清洗机

品牌型号:PLASMA ETCH  PE-100 SERIES PLASMA SYSTEM

腔体尺寸:12H"*12W"*12D"

电极配置:11”*W*11”D*9”Spacing ,1 level

主泵流量:29CFM

真空计:0~1 TORR

RF 功率:0-300WATTS@13.56MHZ

气流量:0-50CCM O2

控制温度:0 to 150±0.5

交流供电:220VAC,50HZ,1PHASE,15A

制程气体:15 to 30 psig

系统环境温度:85