扫描电子显微镜

      品牌型号 : JEOL JSM-6510

      电子枪：钨灯丝直热式发射电子枪

      聚光镜：电磁变焦聚光镜

      物镜：锥形小物镜

      分辨率：3.0nm(二次电子成像，工作电压30kV，工作距离8mm)

                    8.0nm(工作电压3kV，工作距离6mm)

                    15.0nm(工作电压1kV，工作距离6mm)

                 背散射电子成像模式

      真空度：10 to 270Pa，高、低真空切换

       加速电压：0.3kV to 30kV（55 steps）

           0.3kV to 3kV：100V steps

           3kV to 30 kV：1kV steps

      放大倍数：×50 to 300000 (149steps)

       样品台：全对中样品台

                       X: 80mm

                    Y: 40mm

                    Z：5mm-48mm

                       T:-10° to 90°

       扫描方式：全扫描（640×480像素）

       数字图像：640×480

       像素：1280 x 960

排气系统（高真空模式）：DP×1，RP×1